Õæ¿Õ¼¼ÊõµÄÖØÒªÓ¦ÓãºÏê½â¹â¿Ì¼¼ÊõµÄÔ­Àí

2019-12-20 ´«¸ÐÆ÷¼¼Êõ iVacuumÕæ¿Õ¾Û½¹

¡¡¡¡¹â¿ÌÊǼ¯³Éµç·×îÖØÒªµÄ¼Ó¹¤¹¤ÒÕ£¬ËûµÄ×÷Óã¬Èçͬ½ð¹¤³µ¼äÖгµ´²µÄ×÷Óá£ÔÚÕû¸öÐ¾Æ¬ÖÆÔ칤ÒÕÖУ¬¼¸ºõÿ¸ö¹¤ÒÕµÄʵʩ£¬¶¼Àë²»¿ª¹â¿ÌµÄ¼¼Êõ¡£¹â¿ÌÒ²ÊÇÖÆÔìоƬµÄ×î¹Ø¼ü¼¼Êõ£¬ËûÕ¼Ð¾Æ¬ÖÆÔì³É±¾µÄ35%ÒÔÉÏ¡£ÔÚÈç½ñµÄ¿Æ¼¼ÓëÉç»á·¢Õ¹ÖУ¬¹â¿Ì¼¼ÊõµÄÔö³¤£¬Ö±½Ó¹ØÏµµ½´óÐͼÆËã»úµÄÔË×÷µÈ¸ß¿Æ¼¼ÁìÓò¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡¹â¿Ì¼¼ÊõÓëÎÒÃǵÄÉú»îϢϢÏà¹Ø£¬ÎÒÃÇÓõÄÊÖ»ú£¬µçÄԵȸ÷ÖÖ¸÷ÑùµÄµç×Ó²úÆ·£¬ÀïÃæµÄÐ¾Æ¬ÖÆ×÷Àë²»¿ª¹â¿Ì¼¼Êõ¡£Èç½ñµÄÊÀ½çÊÇÒ»¸öÐÅÏ¢Éç»á£¬¸÷ÖÖ¸÷ÑùµÄÐÅÏ¢Á÷ÔÚÊÀ½çÁ÷¶¯¡£¶ø¹â¿Ì¼¼ÊõÊDZ£Ö¤ÖÆÔì³ÐÔØÐÅÏ¢µÄÔØÌå¡£ÔÚÉç»áÉÏÓµÓв»¿ÉÌæ´úµÄ×÷Óá£

¹â¿Ì¼¼ÊõµÄÔ­Àí

¡¡¡¡¹â¿Ì¾ÍÊǰÑÐ¾Æ¬ÖÆ×÷ËùÐèÒªµÄÏß·Ó빦ÄÜÇø×ö³öÀ´¡£ÀûÓùâ¿Ì»ú·¢³öµÄ¹âͨ¹ý¾ßÓÐͼÐεĹâÕÖ¶ÔÍ¿Óйâ¿Ì½ºµÄ±¡Æ¬ÆØ¹â£¬¹â¿Ì½º¼û¹âºó»á·¢ÉúÐÔÖʱ仯£¬´Ó¶øÊ¹¹âÕÖÉϵÃͼÐθ´Ó¡µ½±¡Æ¬ÉÏ£¬´Ó¶øÊ¹±¡Æ¬¾ßÓеç×ÓÏß·ͼµÄ×÷Óá£Õâ¾ÍÊǹâ¿ÌµÄ×÷Óã¬ÀàËÆÕÕÏà»úÕÕÏà¡£ÕÕÏà»úÅÄÉãµÄÕÕÆ¬ÊÇÓ¡ÔÚµ×Æ¬ÉÏ£¬¶ø¹â¿Ì¿ÌµÄ²»ÊÇÕÕÆ¬£¬¶øÊǵç·ͼºÍÆäËûµç×ÓÔª¼þ¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡¹â¿Ì¼¼ÊõÊÇÒ»ÖÖ¾«ÃܵÄ΢ϸ¼Ó¹¤¼¼Êõ¡£³£¹æ¹â¿Ì¼¼ÊõÊDzÉÓò¨³¤Îª2000¡«4500°£µÄ×ÏÍâ¹â×÷ΪͼÏñÐÅÏ¢ÔØÌ壬ÒÔ¹âÖ¿¹¹â¿Ì¼¼ÊõÊ´¼ÁΪÖмä(ͼÏñ¼Ç¼)ý½éʵÏÖͼÐεı任¡¢×ªÒƺʹ¦Àí£¬×îÖÕ°ÑͼÏñÐÅÏ¢´«µÝµ½¾§Æ¬(Ö÷ÒªÖ¸¹èƬ)»ò½éÖʲãÉϵÄÒ»ÖÖ¹¤ÒÕ¡£

¡¡¡¡ÔÚ¹ãÒåÉÏ£¬¹â¿Ì°üÀ¨¹â¸´Ó¡ºÍ¿ÌÊ´¹¤ÒÕÁ½¸öÖ÷Òª·½Ã棺

¡¡¡¡1¡¢¹â¸´Ó¡¹¤ÒÕ£º¾­ÆØ¹âϵͳ½«Ô¤ÖÆÔÚÑÚÄ£°æÉÏµÄÆ÷¼þ»òµç·ͼÐΰ´ËùÒªÇóµÄλÖ㬾«È·´«µÝµ½Ô¤Í¿ÔÚ¾§Æ¬±íÃæ»ò½éÖʲãÉϵĹâÖ¿¹Ê´¼Á±¡²ãÉÏ¡£

¡¡¡¡2¡¢¿ÌÊ´¹¤ÒÕ£ºÀûÓû¯Ñ§»òÎïÀí·½·¨£¬½«¿¹Ê´¼Á±¡²ãδÑڱεľ§Æ¬±íÃæ»ò½éÖʲã³ýÈ¥£¬´Ó¶øÔÚ¾§Æ¬±íÃæ»ò½éÖʲãÉÏ»ñµÃÓ뿹ʴ¼Á±¡²ãͼÐÎÍêȫһÖµÄͼÐΡ£¼¯³Éµç·¸÷¹¦ÄܲãÊÇÁ¢ÌåÖØµþµÄ£¬Òò¶ø¹â¿Ì¹¤ÒÕ×ÜÊǶà´Î·´¸´½øÐС£ÀýÈ磬´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·Ҫ¾­¹ýÔ¼10´Î¹â¿Ì²ÅÄÜÍê³É¸÷²ãͼÐεÄÈ«²¿´«µÝ¡£

¡¡¡¡¹â¿Ì¼¼ÊõÔÚÏÁÒåÉÏ£¬¹â¿Ì¹¤ÒÕ½öÖ¸¹â¸´Ó¡¹¤ÒÕ¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¹â¿Ì¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹

¡¡¡¡1970Äê´ú£¬GCA¿ª·¢³öµÚһ̨·Ö²¼Öظ´Í¶Ó°ÆØ¹â»ú£¬¼¯³Éµç·ͼÐÎÏß¿í´Ó1.5μmËõСµ½0.5μm½Úµã¡£

¡¡¡¡1980Äê´ú£¬ÃÀ¹úSVGL¹«Ë¾¿ª·¢³öµÚÒ»´ú²½½øÉ¨ÃèÍ¶Ó°ÆØ¹â»ú£¬¼¯³Éµç·ͼÐÎÏß¿í´Ó0.5μmËõСµ½0.35μm½Úµã¡£

¡¡¡¡1990Äê´ú£¬n1995Ä꣬Cano×ÅÊÖ300mm¾§Ô²ÆØ¹â»ú£¬ÍƳöEX3LºÍ5L²½½ø»ú;ASMLÍÆ³öFPA2500£¬193nm²¨³¤²½½øÉ¨ÃèÆØ¹â»ú¡£¹âѧ¹â¿Ì·Ö±æÂʵ½´ï70nmµÄ“¼«ÏÞ”¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡2000ÄêÒÔÀ´£¬ÔÚ¹âѧ¹â¿Ì¼¼ÊõŬÁ¦Í»ÆÆ·Ö±æÂÊ“¼«ÏÞ”µÄͬʱ£¬NGLÕýÔÚÑо¿£¬°üÀ¨¼«×ÏÍâÏß¹â¿Ì¼¼Êõ£¬µç×ÓÊø¹â¿Ì¼¼Êõ£¬XÉäÏß¹â¿Ì¼¼Êõ£¬ÄÉÃ×ѹӡ¼¼ÊõµÈ¡£

¹âѧ¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡¹âѧ¹â¿ÌÊÇͨ¹ý¹ãµÂÕÕÉäÓÃͶӰ·½·¨½«ÑÚÄ£ÉϵĴó¹æÄ£¼¯³Éµç·Æ÷¼þµÄ½á¹¹Í¼Ðλ­ÔÚÍ¿Óйâ¿Ì½ºµÄ¹èƬÉÏ£¬Í¨¹ý¹âµÄÕÕÉ䣬¹â¿Ì½ºµÄ³É·Ö·¢Éú»¯Ñ§·´Ó¦£¬´Ó¶øÉú³Éµç·ͼ¡£ÏÞÖÆ³ÉÆ·ËùÄÜ»ñµÃµÄ×îС³ß´çÓë¹â¿ÌϵͳÄÜ»ñµÃµÄ·Ö±æÂÊÖ±½ÓÏà¹Ø£¬¶ø¼õСÕÕÉä¹âÔ´µÄ²¨³¤ÊÇÌá¸ß·Ö±æÂʵÄ×îÓÐЧ;¾¶¡£ÒòΪÕâ¸öÔ­Òò£¬¿ª·¢ÐÂÐͶ̲¨³¤¹âÔ´¹â¿Ì»úÒ»Ö±ÊǸ÷¸ö¹ú¼ÒµÄÑо¿Èȵã¡£

¡¡¡¡³ý´ËÖ®Í⣬¸ù¾Ý¹âµÄ¸ÉÉæÌØÐÔ£¬ÀûÓø÷ÖÖ²¨Ç°¼¼ÊõÓÅ»¯¹¤ÒÕ²ÎÊýÒ²ÊÇÌá¸ß·Ö±æÂʵÄÖØÒªÊֶΡ£ÕâЩ¼¼ÊõÊÇÔËÓõç´ÅÀíÂÛ½áºÏ¹â¿Ìʵ¼Ê¶ÔÆØ¹â³ÉÏñ½øÐÐÉîÈëµÄ·ÖÎöËùÈ¡µÃµÄÍ»ÆÆ¡£ÆäÖÐÓÐÒÆÏàÑÚĤ¡¢ÀëÖáÕÕÃ÷¼¼Êõ¡¢ÁÚ½üЧӦУÕýµÈ¡£ÔËÓÃÕâЩ¼¼Êõ£¬¿ÉÔÚĿǰµÄ¼¼ÊõˮƽÉÏ»ñµÃ¸ü¸ß·Ö±æÂʵĹâ¿ÌͼÐΡ£

¡¡¡¡20ÊÀ¼Í70—80Äê´ú£¬¹â¿ÌÉ豸Ö÷Òª²ÉÓÃÆÕͨ¹âÔ´ºÍ¹¯µÆ×÷ÎªÆØ¹â¹âÔ´£¬ÆäÌØÕ÷³ß´çÔÚ΢Ã×¼¶ÒÔÉÏ¡£90Äê´úÒÔÀ´£¬ÎªÁËÊÊÓ¦IC¼¯³É¶ÈÖð²½Ìá¸ßµÄÒªÇó£¬Ïà¼Ì³öÏÖÁËgÆ×Ïß¡¢hÆ×Ïß¡¢IÆ×Ïß¹âÔ´ÒÔ¼°KrF¡¢ArFµÈ×¼·Ö×Ó¼¤¹â¹âÔ´¡£Ä¿Ç°¹âѧ¹â¿Ì¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹·½ÏòÖ÷Òª±íÏÖΪËõ¶ÌÆØ¹â¹âÔ´²¨³¤¡¢Ìá¸ßÊýÖµ¿×¾¶ºÍ¸Ä½øÆØ¹â·½Ê½¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

ÒÆÏàÑÚÄ£

¡¡¡¡¹â¿Ì·Ö±æÂÊÈ¡¾öÓÚÕÕÃ÷ϵͳµÄ²¿·ÖÏà¸ÉÐÔ¡¢ÑÚģͼÐÎ¿Õ¼äÆµÂʺͳıȼ°³ÉÏóϵͳµÄÊýÖµ¿×¾¶µÈ¡£ÏàÒÆÑÚÄ£¼¼ÊõµÄÓ¦ÓÃÓпÉÄÜÓô«Í³µÄ¹â¿Ì¼¼ÊõºÍiÏß¹â¿Ì»úÔÚ×î¼ÑÕÕÃ÷Ï¿̻®³ö³ß´çΪ´«Í³·½·¨Ö®°ëµÄͼÐΣ¬¶øÇÒ¾ßÓиü´óµÄ½¹ÉîºÍÆØ¹âÁ¿·¶Î§¡£ÏàÒÆÑÚÄ£·½·¨ÓпÉÄܿ˷þÏß/¼ä¸ôͼÐδ«Í³¹â¿Ì·½·¨µÄ¾ÖÏÞÐÔ¡£

¡¡¡¡Ëæ×ÅÒÆÏàÑÚÄ£¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹,Ó¿ÏÖ³öÖÚ¶àµÄÖÖÀà, ´óÌåÉϿɷÖΪ½»ÌæÊ½ÒÆÏàÑÚĤ¼¼Êõ¡¢Ë¥¼õÊ½ÒÆÏàÑÚÄ£¼¼Êõ;±ßÔµÔöÇ¿ÐÍÏàÒÆÑÚÄ£, °üÀ¨ÑÇ·Ö±æÂÊÏàÒÆÑÚÄ£ºÍ×Ô¶Ô×¼ÏàÒÆÑÚÄ£;ÎÞ¸õȫ͸Ã÷ÒÆÏàÑÚÄ£¼°¸´ºÏÒÆÏ෽ʽ( ½»ÌæÒÆÏà+ ȫ͸Ã÷ÒÆÏà+ Ë¥¼õÒÆÏà+ ¶þÔª¸õÑÚÄ£) ¼¸Àà¡£ÓÈÆäÒÔ½»ÌæÐͺÍȫ͸Ã÷ÒÆÏàÑÚÄ£¶Ô·Ö±æÂʸÄÉÆ×îÏÔÖø, ΪʵÏÖÑDz¨³¤¹â¿Ì´´ÔìÁËÓÐÀûÌõ¼þ¡£

¡¡¡¡È«Í¸Ã÷ÒÆÏàÑÚÄ£µÄÌØµãÊÇÀûÓôóÓÚij¿í¶ÈµÄ͸Ã÷ÒÆÏàÆ÷ͼÐαßÔµ¹âÏàλͻȻ·¢Éú180¶È±ä»¯, ÔÚÒÆÏàÆ÷±ßÔµÁ½²àÑÜÉ䳡µÄ¸ÉÉæÐ§Ó¦²úÉúÒ»¸öÐÎÈ瓵¶ÈД¹âÇ¿·Ö²¼, ²¢ÔÚÒÆÏàÆ÷ËùÓб߽çÏßÉÏÐγɹâǿΪÁãµÄ°µÇø, ¾ßÓÐ΢ϸÏßÌõÒ»·ÖΪ¶þµÄ·ÖÁÑЧ¹û, ʹ³ÉÏñ·Ö±æÂÊÌá¸ß½ü1 ±¶¡£

¡¡¡¡¹âÑ§ÆØ¹â¼¼ÊõµÄDZÁ¦, ÎÞÂÛ´ÓÀíÂÛ»¹ÊÇʵ¼ùÉÏ¿´¶¼ÁîÈ˾ªÌ¾, ²»Äܲ»¹ÎÄ¿Ïà¿´¡£ÆäÖÐÀûÓÿØÖƹâÑ§ÆØ¹â¹ý³ÌÖеĹâλÏà²ÎÊý, ²úÉú¹âµÄ¸ÉÉæÐ§Ó¦,²¿·ÖµÖÏûÁËÏÞÖÆ¹âѧϵͳ·Ö±æÂʵÄÑÜÉäЧӦµÄ²¨Ç°Ã湤³ÌΪ´ú±íµÄ·Ö±æÂÊÔöÇ¿¼¼ÊõÆðµ½ÖØÒª×÷ÓÃ, °üÀ¨: ÒÆÏàÑÚÄ£¼¼Êõ¡¢¹âѧÁÚ½üЧӦУÕý¼¼Êõ¡¢ÀëÖáÕÕÃ÷¼¼Êõ¡¢¹âÍ«¿Õ¼äÂ˲¨¼¼Êõ¡¢×¤²¨Ð§Ó¦Ð£Õý¼¼Êõ¡¢Àë½¹µü¼ÓÔöÇ¿ÆØ¹â¼¼Êõ¡¢±íÃæ³ÉÏñ¼¼Êõ¼°¶à¼¶½º½á¹¹¹¤ÒÕ¼¼Êõ¡£ÔÚʵÓû¯·½ÃæÈ¡µÃ×îÒýÈËעĿ½øÕ¹µÄÒªÊýÒÆÏàÑÚÄ£¼¼Êõ¡¢¹âѧÁÚ½üЧӦУÕý¼¼ÊõºÍÀëÖáÕÕÃ÷¼¼Êõ, ÓÈÆä½þû͸¾µÆØ¹â¼¼ÊõÉϵÄÍ»ÆÆºÍÁ½´ÎÆØ¹â¼¼ÊõµÄÓ¦ÓÃ, Ϊ·Ö±æÂÊÔöÇ¿¼¼ÊõµÄÓ¦Óøü´´ÔìÁËÓÐÀûÌõ¼þ¡£

µç×ÓÊø¹â¿Ì

¡¡¡¡µç×ÓÊø¹â¿Ì¼¼ÊõÊÇ΢Ðͼ¼Êõ¼Ó¹¤·¢Õ¹µÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ,ËûÔÚÄÉÃ×ÖÆÔìÁìÓòÖÐÆð×Ų»¿ÉÌæ´úµÄ×÷Óᣵç×ÓÊø¹â¿ÌÖ÷ÒªÊǿ̻­Î¢Ð¡µÄµç·ͼ£¬µç·ͨ³£ÊÇÒÔÄÉÃ×΢µ¥Î»µÄ¡£µç×ÓÊø¹â¿Ì¼¼Êõ²»ÐèÒªÑÚĤ£¬Ö±½Ó½«»á¾ÛµÄµç×ÓÊø°ß´òÔÚ±íÃæÍ¿Óйâ¿Ì½ºµÄ³Äµ×ÉÏ¡£

¡¡¡¡µç×ÓÊø¹â¿Ì¼¼ÊõÒªÓ¦ÓÃÓÚÄÉÃ׳߶È΢С½á¹¹µÄ¼Ó¹¤ºÍ¼¯³Éµç·µÄ¹â¿Ì£¬±ØÐë½â¾ö¼¸¸ö¹Ø¼üµÄ¼¼ÊõÎÊÌ⣺µç×ÓÊø¸ß¾«¶ÈɨÃè³ÉÏñÆØ¹âЧÂʵÍ;µç×ÓÔÚ¿¹Ê´¼ÁºÍ»ùƬÖеÄÉ¢ÉäºÍ±³É¢ÉäÏÖÏóÔì³ÉµÄÁÚ½üЧӦ;ÔÚʵÏÖÄÉÃ׳߶ȼӹ¤Öеç×Ó¿¹Ê´¼ÁºÍµç×ÓÊøÆØ¹â¼°ÏÔÓ°¡¢¿ÌÊ´µÈ¹¤ÒÕ¼¼ÊõÎÊÌâ¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡Êµ¼ùÖ¤Ã÷,µç×ÓÊøÁÚ½üЧӦУÕý¼¼Êõ¡¢µç×ÓÊøÆØ¹âÓë¹âÑ§ÆØ¹âϵͳµÄÆ¥ÅäºÍ»ìºÏ¹â¿Ì¼¼Êõ¼°¿¹Ê´¼ÁÆØ¹â¹¤ÒÕÓÅ»¯¼¼ÊõµÄÓ¦Óã¬ÊÇÒ»ÖÖÌá¸ßµç×ÓÊø¹â¿Ìϵͳʵ¼Ê¹â¿Ì·Ö±æÄÜÁ¦·Ç³£ÓÐЧµÄ°ì·¨¡£µç×ÓÊø¹â¿Ì×îÖ÷ÒªµÄ¾ÍÊǽðÊô»¯°þÀ룬µÚÒ»²½ÊÇÔÚ¹â¿Ì½º±íÃæÉ¨Ãèµ½×Ô¼ºÐèÒªµÄͼÐΡ£µÚ¶þ²¿Êǽ«ÆØ¹âµÄͼÐνøÐÐÏÔÓ°£¬È¥³ýÎ´ÆØ¹âµÄ²¿·Ö£¬µÚÈý²¿ÔÚÐγɵÄͼÐÎÉϳÁµí½ðÊô£¬µÚËIJ¿½«¹â¿Ì½ºÈ¥³ý£¬ÔÚ½ðÊô°þÀëµÄ¹ý³ÌÖУ¬¹Ø¼üÔÚÓÚ¹â¿Ì¹¤ÒյĽºÐÍ¿ØÖÆ¡£×îºÃʹÓúñ½º£¬ÕâÑùÓÐÀûÓÚ½º¼ÁµÄÉøÍ¸£¬ÐγÉÇåÎúµÄÐÎò¡£

¾Û½¹Á£×ÓÊø¹â¿Ì

¡¡¡¡¾Û½¹Àë×ÓÊø(Focused Ion beam, FIB)µÄϵͳÊÇÀûÓõç͸¾µ½«Àë×ÓÊø¾Û½¹³É·Ç³£Ð¡³ß´çµÄÏÔ΢ÇиîÒÇÆ÷£¬ËýµÄÔ­ÀíÓëµç×ÓÊø¹â¿ÌÏà½ü£¬²»¹ýÊÇÓеç×Ó±ä³ÉÀë×Ó¡£Ä¿Ç°ÉÌÒµÓÃ;ϵͳµÄÀë×ÓÊøÎªÒºÌ¬½ðÊôÀë×ÓÔ´£¬½ðÊô²ÄÖÊΪïØ£¬ÒòΪïØÔªËؾßÓÐÈÛµãµÍ¡¢µÍÕôÆøÑ¹¡¢¼°Á¼ºÃµÄ¿¹Ñõ»¯Á¦;µäÐ͵ÄÀë×ÓÊøÏÔ΢¾µ°üÀ¨ÒºÏà½ðÊôÀë×ÓÔ´¡¢µç͸¾µ¡¢É¨Ãèµç¼«¡¢¶þ´ÎÁ£×ÓÕì²âÆ÷¡¢5-6ÖáÏòÒÆ¶¯µÄÊÔÆ¬»ù×ù¡¢Õæ¿Õϵͳ¡¢¿¹Õñ¶¯ºÍ´Å³¡µÄ×°Öᢵç×Ó¿ØÖÆÃæ°å¡¢ºÍ¼ÆËã»úµÈÓ²É豸£¬Íâ¼Óµç³¡ÓÚÒºÏà½ðÊôÀë×ÓÔ´ ¿ÉʹҺ̬ïØÐγÉϸС¼â¶Ë£¬ÔÙ¼ÓÉϸºµç³¡(Extractor) Ç£Òý¼â¶ËµÄïØ£¬¶øµ¼³öïØÀë×ÓÊø£¬ÔÚÒ»°ã¹¤×÷µçѹÏ£¬¼â¶ËµçÁ÷ÃܶÈԼΪ1°£10-8 Amp/cm2£¬ÒÔµç͸¾µ¾Û½¹£¬¾­¹ýÒ»Á¬´®±ä»¯¿×¾¶ (Automatic Variable Aperture, AVA)¿É¾ö¶¨Àë×ÓÊøµÄ´óС£¬ÔÙ¾­¹ý¶þ´Î¾Û½¹ÖÁÊÔÆ¬±íÃæ£¬ÀûÓÃÎïÀíÅöײÀ´´ïµ½Çиî֮ĿµÄ¡£

¡¡¡¡ÔÚ³ÉÏñ·½Ã棬¾Û½¹Àë×ÓÊøÏÔ΢¾µºÍɨÃèµç×ÓÏÔ΢¾µµÄÔ­Àí±È½ÏÏà½ü£¬ÆäÖÐÀë×ÓÊøÏÔ΢¾µµÄÊÔÆ¬±íÃæÊÜïØÀë×ÓɨÃèײ»÷¶ø¼¤·¢³öµÄ¶þ´Îµç×ӺͶþ´ÎÀë×ÓÊÇÓ°ÏñµÄÀ´Ô´£¬Ó°ÏñµÄ·Ö±æÂʾö¶¨ÓÚÀë×ÓÊøµÄ´óС¡¢´øµçÀë×ӵļÓËÙµçѹ¡¢¶þ´ÎÀë×ÓѶºÅµÄÇ¿¶È¡¢ÊÔÆ¬½ÓµØµÄ×´¿ö¡¢ÓëÒÇÆ÷¿¹Õñ¶¯ºÍ´Å³¡µÄ×´¿ö£¬Ä¿Ç°ÉÌÓûúÐ͵ÄÓ°Ïñ·Ö±æÂÊ×î¸ßÒÑ´ï 4nm£¬ËäÈ»Æä·Ö±æÂʲ»¼°É¨Ãèʽµç×ÓÏÔ΢¾µºÍ´©Í¸Ê½µç×ÓÏÔ΢¾µ£¬µ«ÊǶÔÓÚ¶¨µã½á¹¹µÄ·ÖÎö£¬ËüûÓÐÊÔÆ¬ÖƱ¸µÄÎÊÌ⣬ÔÚ¹¤×÷ʱ¼äÉϽÏΪ¾­¼Ã¡£

¡¡¡¡¾Û½¹Àë×ÓÊøÍ¶Ó°ÆØ¹â³ýÁËÇ°ÃæÒѾ­Ìáµ½µÄÆØ¹âÁéÃô¶È¼«¸ßºÍûÓÐÁÚ½üЧӦ֮Í⻹°üÀ¨½¹Éî´óÓÚÆØ¹âÉî¶È¿ÉÒÔ¿ØÖÆ¡£Àë×ÓÔ´·¢ÉäµÄÀë×ÓÊø¾ßÓзdz£ºÃµÄƽÐÐÐÔ£¬Àë×ÓÊøÍ¶Ó°Í¸¾µµÄÊýÖµ¿×¾¶Ö»ÓÐ0.001£¬Æä½¹Éî¿É´ï100μm£¬Ò²¾ÍÊÇ˵£¬¹èƬ±íÃæÈÎºÎÆð·üÔÚ100μmÖ®ÄÚ£¬Àë×ÓÊøµÄ·Ö±æÁ¦»ù±¾²»±ä¡£¶ø¹âÑ§ÆØ¹âµÄ½¹ÉîÖ»ÓÐ1¡«2μmΪ¡£ËýµÄÖ÷Òª×÷ÓþÍÊÇÔÚµç·ÉϽøÐÐÐÞ²¹ £¬ºÍÉú²úÏßÖÆ³ÉÒì³£·ÖÎö»òÕß½øÐйâ×èÇиî¡£

EUV¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡ÔÚ΢µç×Ó¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹Àú³ÌÖУ¬ÈËÃÇÒ»Ö±ÔÚÑо¿¿ª·¢ÐµÄICÖÆÔì¼¼ÊõÀ´ËõСÏß¿íºÍÔö´óоƬµÄÈÝÁ¿¡£ÎÒÃÇÒ²ÆÕ±éµÄ°ÑÈíXÉäÏßͶӰ¹â¿Ì³Æ×÷¼«×ÏÍâͶӰ¹â¿Ì¡£ÔÚ¹â¿Ì¼¼ÊõÁìÓòÎÒÃǵĿÆÑ§¼ÒÃǶԼ«×ÏÍâͶӰ¹â¿ÌEUV¼¼ÊõµÄÑо¿×îΪÉîÈëҲȡµÃÁËÍ»ÆÆÐԵĽøÕ¹£¬Ê¹¼«×ÏÍâͶӰ¹â¿Ì¼¼Êõ×îÓÐÏ£Íû±»ÆÕ±éʹÓõ½ÒÔºóµÄ¼¯³Éµç·Éú²úµ±ÖС£ËüÖ§³Ö22nmÒÔ¼°¸üСÏß¿íµÄ¼¯³Éµç·Éú²úʹÓá£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡EUVÊÇĿǰ¾àʵÓû¯×î½üµÄÒ»ÖÖÉîÑÇ΢Ã׵Ĺâ¿Ì¼¼Êõ¡£²¨³¤Îª157nmµÄ×¼·Ö×Ó¼¤¹â¹â¿Ì¼¼ÊõÒ²½«½üÆÚͶÈëÓ¦Óá£Èç¹û²ÉÓò¨³¤Îª13nmµÄEUV£¬Ôò¿ÉµÃµ½0.1umµÄϸÌõ¡£

¡¡¡¡ÔÚ1985Äê×óÓÒÒѾ­ÓÐǰ±²ÃǾÍEUV¼¼Êõ½øÐÐÁËÀíÂÛÉϵÄ̽ÌÖ²¢×öÁËÐí¶àÏà¹ØµÄʵÑé¡£½üÊ®ÄêÖ®ºó΢µç×ÓÐÐÒµµÄ·¢Õ¹Êܵ½ÖØÖØ×è°­²ÅÖÂÈËÃÇÓÐÁËÓÇ»¼Òâʶ¡£²¢ÇÒ´Ó΢µç×Ó¼¼ÊõµÄ·¢Õ¹¹ý³ÌÄÜÅжϳö£¬Èô²»ÔçÈÕÍÆ³ö¼«×ÏÍâ¹â¿Ì¼¼ÊõÀ´¶Ôµ±Ç°µÄÐ¾Æ¬ÖÆÔì·½·¨×ö³öÈ«ÃæµÄ¸Ä½ø£¬½«Ê¹Õû¸öоƬ¹¤Òµ´¦ÔÚá§á§¿ÉΣµÄµØ²½¡£

¡¡¡¡EUVϵͳÖ÷ÒªÓÉËIJ¿·Ö¹¹³É£º¼«¶Ë×ÏÍâ¹âÔ´;·´ÉäͶӰϵͳ;¹â¿ÌÄ£°å(mask);Äܹ»ÓÃÓÚ¼«¶Ë×ÏÍâµÄ¹â¿ÌÍ¿²ã(photo-resist)¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡¼«¶Ë×ÏÍâ¹â¿Ì¼¼ÊõËùʹÓõĹâ¿Ì»úµÄ¶Ô×¼Ì׿̾«¶ÈÒª´ïµ½10nm£¬ÆäÑз¢ºÍÖÆÔìÔ­Àíʵ¼ÊÉϺʹ«Í³µÄ¹âѧ¹â¿ÌÔÚÔ­ÀíÉÏÊ®·ÖÏàËÆ¡£¶Ô¹â¿Ì»úµÄÑо¿ÖصãÊÇÒªÇó¶¨Î»Òª¼«Æä¿ìËÙ¾«ÃÜÒÔ¼°Ö𳡵÷ƽµ÷½¹¼¼Êõ£¬ÒòΪ¹â¿Ì»úÔÚ¹¤×÷ʱƴ½ÓͼÐκͲ½½øÊ½É¨ÃèÆØ¹âµÄ´ÎÊýºÜ¶à¡£²»½öÈç´ËÈëÉä¶Ô×¼¹â²¨ÐźŵIJɼ¯ÒÔ¼°´¦ÀíÎÊÌ⻹ÐèÒª½â¾ö¡£

EUV¼¼Êõµ±Ç°×´¿ö

¡¡¡¡EUV¼¼ÊõµÄ½øÕ¹»¹ÊDZȽϻºÂýµÄ£¬¶øÇÒ½«ÏûºÄ´óÁ¿µÄ×ʽð¡£¾¡¹ÜĿǰºÜÉÙ³§É̽«ÕâÏî¼¼ÊõÓ¦Óõ½Éú²úÖУ¬µ«ÊǼ«×ÏÍâ¹â¿Ì¼¼ÊõÈ´Ò»Ö±ÊǽüЩÄêÀ´µÄÑо¿Èȵ㣬ËùÓг§É̶ÔÕâÏî¼¼ÊõÒ²¶¼³äÂúÁËÆÚÅΣ¬Ï£ÍûÕâÏî¼¼ÊõÄÜÓиü´óµÄ½ø²½£¬Äܹ»ÔçÈÕͶÈë´ó¹æÄ£Ê¹Óá£

¡¡¡¡¸÷¼Ò³§É̶¼Çå³þ£¬°ëµ¼Ì幤ÒÕÏòÍùϿ̣¬Ê¹ÓÃEUV¼¼ÊõÊDZØÐëµÄ¡£²¨³¤Ô½¶Ì£¬ÆµÂÊÔ½¸ß£¬¹âµÄÄÜÁ¿Õý±ÈÓÚÆµÂÊ£¬·´±ÈÓÚ²¨³¤¡£µ«ÊÇÒòΪƵÂʹý¸ß£¬´«Í³µÄ¹âÈܽºÖ±½Ó¾Í±»´ò´©ÁË¡£ÏÖÔÚ£¬°ëµ¼Ì幤Òյķ¢Õ¹ÒѾ­±»Ðí¶àÎïÀíѧ¿Æ´Ó¸÷¸ö·½ÃæÖÆÔ¼ÁË¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡ÔÚ45nm¹¤ÒÕµÄÊ´¿Ì·½Ã棬EUV¼¼ÊõÒѾ­Õ¹ÏÖ³öÒ»Ð©ÌØµãËùÒÔÏÖÔÚEVU¼¼ÊõÒªÍ»ÆÆ£¬´ÓÍⲿ֧³ÖÀ´½²£¬Òª»»¹âÈܽº£¬µ«ÊǺÏÊʵÄһֱûÕÒµ½¡£¶ø´ÓEUV¼¼Êõ×ÔÉíÀ´½²£¬Í¬Ê±¾¡¿ÉÄܵÄÏë°ì·¨½µµÍÊä³öÄÜÁ¿¡£

¡¡¡¡Ä¿Ç°EUV¹â¿Ì¼¼Êõ´æÔÚµÄÎÊÌ⣺

¡¡¡¡1¡¢Ôì¼ÛÌ«¸ß£¬¸ß´ï6500ÍòÃÀÔª£¬±È193nm ArF½þûʽ¹â¿Ì»ú¹ó;

¡¡¡¡2¡¢Î´ÕÒµ½ºÏÊʵĹâÔ´;

¡¡¡¡3¡¢Ã»ÓÐÎÞȱÏݵÄÑÚÄ£;

¡¡¡¡4¡¢Î´Ñз¢³öºÏÊʵĹâ¿Ì½º;

¡¡¡¡5¡¢ÈËÁ¦×ÊԴȱ·¦;

¡¡¡¡6¡¢ÄÜÓÃÓÚ22nm¹¤ÒÕÔçÆÚ¿ª·¢¹¤×÷¡£

EUV¹â¿Ì¼¼Êõǰ¾°

¡¡¡¡ÔÚĦ¶û¶¨ÂɵĹæÂÉÏ£¬ÒÔ¼°ÔÚÈç½ñ¿ÆÑ§¼¼Êõ¿ìËÙ·¢Õ¹µÄÐÅϢʱ´ú£¬ÐÂÒ»´úµÄ¹â¿Ì¼¼Êõ¾ÍÓ¦¸Ã±»Ñ¡ÔñºÍÑо¿£¬ÔÚµ±Ç°Î¢µç×ÓÐÐÒµ×îΪÈ˹Ø×¢£¬¶øÔÚÕâЩ¸ßм¼Êõµ±ÖУ¬¼«×ÏÍâ¹â¿ÌÓëÆäËû¼¼ÊõÏà±ÈÓÖÓÐÃ÷ÏÔµÄÓÅÊÆ¡£¼«×ÏÍâ¹â¿ÌµÄ·Ö±æÂÊÖÁÉÙÄÜ´ïµ½30nmÒÔÏÂ,ÇÒ¸üÈÝÒ×ÊÕµ½¸÷¼¯³Éµç·Éú²ú³§É̵ÄÇàíù£¬ÒòΪ¼«×ÏÍâ¹â¿ÌÊÇ´«Í³¹â¿Ì¼¼ÊõµÄÍØÕ¹£¬Í¬Ê±¼¯³Éµç·µÄÉè¼ÆÈËÔ±Ò²¸üϲ»¶Ñ¡ÔñÕâÖÖÈ«Ãæ·ûºÏÉè¼Æ¹æÔòµÄ¹â¿Ì¼¼Êõ¡£¼«×ÏÍâ¹â¿Ì¼¼ÊõÑÚÄ£µÄÖÆÔìÄѶȲ»¸ß£¬¾ßÓÐÒ»¶¨µÄ²úÁ¿ÓÅÊÆ¡£

¡¡¡¡EUV¹â¿Ì¼¼ÊõÉè±¸ÖÆÔì³É±¾Ê®·Ö¸ß°º£¬°üÀ¨ÑÚÄ£ºÍ¹¤ÒÕÔÚÄÚµÄÖî¶à·½Ã滨·Ñ×ʽ𶼺ܴó¡£Í¬Ê±¼«×ÏÍâ¹â¿Ì¹âѧϵͳµÄÉè¼ÆºÍÖÆÔìÒ²¼«Æä¸´ÔÓ£¬´æÔÚÐí¶àÉÐδ½â¾öµÄ¼¼ÊõÎÊÌ⣬µ«¶ÔÕâЩÄѹصĽâ¾ö·½°¸ÕýÔÚÑо¿µ±ÖУ¬Ò»µ©½«ÕâЩÄÑÌâ½â¾ö£¬¼«×ÏÍâ¹â¿Ì¼¼ÊõÔÚ´ó¹æÄ£¼¯³Éµç·Éú²úÓ¦Óùý³ÌÖоͲ»»áÓÐÔ­ÀíÐԵļ¼ÊõÄѹØÁË¡£

¡¡¡¡XÉäÏß¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡1895Ä꣬µÂ¹úÎïÀíѧ¼ÒÂ×ÇÙÊ×ÏÈ·¢ÏÖÁËXÉäÏߣ¬Ò²Òò´Ë»ñµÃÁËŵ±´¶ûÎïÀíѧ½±¡£XÉäÏßÊÇÒ»ÖÖÓëÆäËûÁ£×ÓÒ»Ñù¾ßÓв¨Á£¶þÏóÐԵĵç´Å²¨£¬¿ÉÒÔÊÇÖØÔ­×ÓÄܼ¶Ô¾Ç¨»ò×ÅÊǼÓËÙµç×ÓÓëµç´Å³¡ñîºÏ·øÉäµÄ²úÎï¡£XÉäÏߵIJ¨³¤¼«¶Ì£¬1972ÄêXÉäÏß±»×îÔçÌá³öÓÃÓÚ¹â¿Ì¼¼ÊõÉÏ£¬XÉäÏßÔÚÓÃÓÚ¹â¿ÌʱµÄ²¨³¤Í¨³£ÔÚ0.7µ½0.12nmÖ®¼ä£¬Ëü¼«Ç¿µÄ´©Í¸ÐÔ¾ö¶¨ÁËËüÔÚºñ²ÄÁÏÉÏÒ²Äܶ¨Òå³ö¸ß·Ö±æÂʵÄͼÐΡ£

¡¡¡¡XÉäÏß¹â¿Ì»ù´¡¹¤ÒÕ

¡¡¡¡XÉäÏß²¨³¤¼«¶Ì£¬Ê¹µÃÆä²»»á·¢ÉúÑÏÖØµÄÑÜÉäÏÖÏó¡£ÎÒÃÇÔÚʹÓÃXÉäÏß½øÐÐÆØ¹âʱ¶Ô²¨³¤µÄÑ¡ÔñÊÇÊܵ½Ò»¶¨ÒòËØÏÞÖÆµÄ£¬ÔÚÆØ¹â¹ý³ÌÖУ¬¹â¿Ì½º»áÎüÊÕXÉäÏß¹â×Ó£¬¶ø²úÉúÉä³ÌËæXÉäÏß²¨³¤±ä»¯¶øÏà¼Ì¸Ä±äµÄ¹âµç×Ó£¬ÕâЩ¹âµç×ӻήµÍ¹â¿Ì·Ö±æÂÊ£¬XÉäÏߵIJ¨³¤Ô½¶Ì£¬¹âµç×ÓµÄÉä³ÌÔ½Ô¶£¬¶Ô¹â¿ÌÔ½²»Àû¡£Òò´ËÔö¼ÓXÉäÏߵIJ¨³¤ÓÐÖúÓÚÌá¸ß¹â¿Ì·Ö±æÂÊ¡£È»¶ø³¤²¨³¤µÄXÉäÏß»á¼Ó¿íͼÐεÄÏß¿í£¬¿¼ÂǶàÖÖÒòËØµÄÓ°Ï죬ͨ³£Ö»ÄÜÕÛÖÐÑ¡ÔñXÉäÏߵIJ¨³¤¡£

¡¡¡¡½ñÄêÀ´µÄÑо¿·¢ÏÖ£¬µ±Í¼ÐεÄÏß¿íСµ½Ò»¶¨³Ì¶Èʱ(Ò»°ãΪ0.01μmÒÔÏÂ)£¬±»²¨µ¼Ð§Ó¦Ó°Ï죬×îÖյõ½µÄͼÐÎÏß¿íҪСÓÚʵ¼ÊÑÚģͼÐΣ¬Òò´ËX¹â¿Ì·Ö±æÂÊÒ²Êܵ½ÑÚÄ£°æÓë¾§Ô²¼ä¾à´óСµÄÓ°Ïì¡£

¡¡¡¡³ý´ËÖ®Í⣬»¹ÐèÒª´óÁ¿µÄʵÑéÑо¿À´½â¾öXÉäÏß¹â¿ÌͼÐÎ΢ϸ¼Ó¹¤Ê±¶ÔͼÐÎÖÊÁ¿Ôì³ÉÓ°ÏìµÄÖî¶àÒòËØ¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡ÉäÏß¹â¿ÌÑÚÄ£

¡¡¡¡ÔÚºó¹âѧ¹â¿ÌµÄ¼¼ÊõÖУ¬Æä×îÖ÷ÒªÇÒ×îÀ§Äѵļ¼Êõ¾ÍÊÇÑÚÄ£ÖÆÔì¼¼Êõ£¬ÆäÖÐ1£º1µÄ¹â¿Ì·Ç³£À§ÄÑ£¬ÊÇ·Á°­¼¼Êõ·¢Õ¹µÄÄÑÌâÖ®Ò»¡£ËùÒÔ˵£¬ÎÒÃÇÈÏΪÑÚÄ£¿ª·¢ÊǶÔÓÚÆäÓ¦ÓÃÓÚ¹¤Òµ·¢Õ¹µÄÖØÒª»·½Ú£¬Ò²ÊǾö¶¨³É°ÜµÄ¹Ø¼ü¡£ÔÚ¹ýÈ¥µÄ·¢Õ¹ÖУ¬¿ÆÑ§¼Ò¶ÔÆäÒѾ­µÃµ½Á˾޴óµÄ·¢Õ¹£¬Ò²ÓÐһЩÐÂÐͲÄÁϵķ¢ÏÖÒÔ¼°Ó¦Óã¬ÓÐһЩÒѾ­ÔÚʵÑéÊÒÖеÃÒÔʵ¼ù£¬µ«¶ÔÓÚ¹¤Òµ·¢Õ¹»¹ÊÇûÓÐÊ²Ã´ÖØ´óµÄ³É¾Í¡£

¡¡¡¡XÉäÏßÑÚÄ£µÄ»ù±¾½á¹¹°üÀ¨±¡Ä¤¡¢ÎüÊÕÌå¡¢¿ò¼Ü¡¢³Äµ×£¬ÆäÖб¡Ä¤³Ä»ù²ÄÁÏÒ»°ãʹÓÃSi¡¢SiC¡¢½ð¸Õʯ¡£ÎüÊÕÌåÖ÷ҪʹÓýð¡¢ÎٵȲÄÁÏ£¬Æä½á¹¹Í¼ÈçͼËùʾ£º

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡¶ÔÓÚÑÚÄ£µÄÐÔÄÜÒªÇóÈçÏ£º

¡¡¡¡1¡¢ÒªÄܹ»Ê¹XÉäÏßÒÔ¼°ÆäËû¹âÏßµÄÓÐЧ͸¹ý£¬ÇÒ±£ÕÏÆäÓÐ×ã¹»µÄ»úеǿ¶È£¬¾ßÓиߵÄXÉäÏßµÄÎüÊÕÐÔ£¬ÇÒÒª×ã¹»ºñ¡£

¡¡¡¡2¡¢±£ÕÏÆä¸ß¿í±ÈµÄÁ¿£¬ÇÒÆäÒªÓи߶ȵķֱæÂÊÒÔ¼°·´²î¡£

¡¡¡¡3¡¢¶ÔÓÚÆäÑÚÄ£µÄ³ß´çÒª±£ÕÏÆä¾«¶È£¬ÒªÃ»ÓÐȱÏÝ»òÕßȱÏݽÏÉÙ¡£

¡¡¡¡¶ÔÓڳĻùÏñSi3N4Ĥ³£³£Ê¹ÓõÍѹCVD£¬¶ø³£³£Ê¹ÓÃÕô·¢½¦Éäµç¶ÆµÈ·½·¨ÖÆÔìÎüÊÕÌ塣ΪÌá¸ßXÉäÏßÑÚÄ£ÖÊÁ¿ÐèÒªÕýÈ·Ñ¡Ôñ²ÄÁÏ¡¢ÓÅ»¯¹¤ÒÕ¡£

¡¡¡¡XÉäÏß¹â¿Ì¼¼Êõ²»½öÓµÓи߷ֱæÂÊ£¬²¢ÇÒÓи߳ö²úÂʵÄÓŵ㡣ͨ¹ýĿǰ¶ÔXÉäÏß¹â¿Ì¼¼ÊõÓ¦ÓÃÏÖ×´À´¿´£¬Òª½«Í¶ÈëÁ¿²ú£¬Ê¹ÆäÔÚ´ó¹æÄ£»ò³¬´ó¹æÄ£ICµç·µÄÉú²úÖз¢»Ó¸üÖØÒªµÄ×÷Óã¬Í»ÆÆ¸ß¾«¶ÈͼÐÎÑÚÄ£¼¼ÊõÄѹØÒѾ­Èçͬ¼ýÔÚÏÒÉÏ¡£

ÄÉÃ×ѹӡ¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡ÄÉÃ×ѹӡ¼¼ÊõÊÇÃÀ¹úÆÕÁÖ˹¶Ù´óѧ»ªÒá¿ÆÑ§¼ÒÖÜÓôÔÚ20 ÊÀ¼Í1995 ÄêÊ×ÏÈÌá³öµÄ¡£ÕâÏî¼¼Êõ¾ßÓÐÉú²úЧÂʸß¡¢³É±¾µÍ¡¢¹¤ÒÕ¹ý³Ì¼òµ¥µÈÓŵã, Òѱ»Ö¤ÊµÊÇÄÉÃ׳ߴç´óÃæ»ý½á¹¹¸´ÖÆ×îÓÐǰ;µÄÏÂÒ»´ú¹â¿Ì¼¼ÊõÖ®Ò»¡£Ä¿Ç°¸Ã¼¼ÊõÄÜʵÏÖ·Ö±æÂÊ´ï5 nmÒÔϵÄˮƽ¡£ÄÉÃ×ѹӡ¼¼ÊõÖ÷Òª°üÀ¨ÈÈѹӡ¡¢×ÏÍâѹӡÒÔ¼°Î¢½Ó´¥Ó¡Ë¢¡£

¡¡¡¡ÄÉÃ×ѹӡ¼¼ÊõÊǼӹ¤¾ÛºÏÎï½á¹¹×î³£Óõķ½·¨, Ëü²ÉÓø߷ֱæÂʵç×ÓÊøµÈ·½·¨½«½á¹¹¸´ÔÓµÄÄÉÃ׽ṹͼ°¸ÖÆÔÚÓ¡ÕÂÉÏ, È»ºóÓÃÔ¤ÏÈͼ°¸»¯µÄÓ¡ÕÂʹ¾ÛºÏÎï²ÄÁϱäÐζøÔÚ¾ÛºÏÎïÉÏÐγɽṹͼ°¸¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

1¡¢ÈÈѹӡ¼¼Êõ

¡¡¡¡ÄÉÃ×ÈÈѹӡ¼¼ÊõÊÇÔÚ΢ÄÉÃ׳߶ȻñµÃ²¢Ðи´ÖƽṹµÄÒ»Öֳɱ¾µÍ¶øËÙ¶È¿ìµÄ·½·¨¡£¸Ã¼¼ÊõÔÚ¸ßÎÂÌõ¼þÏ¿ÉÒÔ½«Ó¡ÕÂÉϵĽṹ°´Ðè¸´ÖÆµ½´óµÄ±íÃæÉÏ, ±»¹ã·ºÓÃÓÚ΢Äɽṹ¼Ó¹¤¡£Õû¸öÈÈѹӡ¹ý³Ì±ØÐëÔÚÆøÑ¹Ð¡ÓÚ1Pa µÄÕæ¿Õ»·¾³Ï½øÐÐ, ÒÔ±ÜÃâÓÉÓÚ¿ÕÆøÆøÅݵĴæÔÚÔì³Éѹӡͼ°¸»û±ä,ÈÈѹӡӡÕÂÑ¡ÓÃSiC ²ÄÁÏÖÆÔì, ÕâÊÇÓÉÓÚSiC·Ç³£¼áÓ², ¼õСÁËѹӡ¹ý³ÌÖжÏÁÑ»ò±äÐεĿÉÄÜÐÔ¡£

¡¡¡¡´ËÍâSiC »¯Ñ§ÐÔÖÊÎȶ¨, Óë´ó¶àÊý»¯Ñ§Ò©Æ·²»Æð·´Ó¦, Òò´Ë±ãÓÚѹӡ½áÊøºóÓò»Í¬µÄ»¯Ñ§Ò©Æ·¶ÔÓ¡Õ½øÐÐÇåÏ´¡£ÔÚÖÆ×÷Ó¡ÕµĹý³ÌÖÐ, ÏÈÔÚSiC ±íÃæ¶ÆÉÏÒ»²ã¾ßÓиßÑ¡±È( 38&1) µÄ¸õ±¡Ä¤, ×÷ΪºóÐò¹¤ÒÕ·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´µÄ¿ÌÊ´ÑÚÄ£, ËæºóÔÚ¸õ±¡Ä¤ÉϾùÔÈÍ¿¸²ZEP ¿¹Ê´¼Á, ÔÙÓõç×ÓÊø¹â¿ÌÔÚZEP ¿¹Ê´¼ÁÉϹâ¿Ì³öÄÉÃ×ͼ°¸¡£ÎªÁË´òÆÆSiC µÄ»¯Ñ§¼ü, ±ØÐëÔÚSiC ÉϼӸߵçѹ¡£×îºóÔÚ350V µÄÖ±Á÷µçѹÏÂ, Ó÷´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´ÔÚSiC ±íÃæµÃµ½¾ßÓй⻬µÄ¿ÌÊ´±íÃæºÍ´¹Ö±ÃæÐ͵ÄÄÉÃ×ͼ°¸¡£

¡¡¡¡Õû¸öÈÈѹӡ¹ý³Ì¿ÉÒÔ·ÖΪÈý¸ö²½Ö裺

¡¡¡¡( 1) ¾ÛºÏÎï±»¼ÓÈȵ½ËüµÄ²£Á§»¯Î¶ÈÒÔÉÏ¡£ÕâÑù¿É¼õÉÙÔÚѹӡ¹ý³ÌÖоۺÏÎïµÄÕ³ÐÔ, Ôö¼ÓÁ÷¶¯ÐÔ,ÔÚÒ»¶¨Ñ¹Á¦ÏÂ, ¾ÍÄÜѸËÙ·¢ÉúÐαä¡£µ«Î¶ÈÌ«¸ßҲû±ØÒª, ÒòΪÕâÑù»áÔö¼ÓÉýκͽµÎµÄʱ¼ä, ½ø¶øÓ°ÏìÉú²úЧÂÊ, ¶ø¶Ôģѹ½á¹¹È´Ã»ÓÐÃ÷ÏÔ¸ÄÉÆ, ÉõÖÁ»áʹ¾ÛºÏÎïÍäÇú¶øµ¼ÖÂÄ£¾ßÊÜËð¡£Í¬Ê±ÎªÁ˱£Ö¤ÔÚÕû¸öѹӡ¹ý³ÌÖоۺÏÎï±£³ÖÏàͬµÄÕ³ÐÔ, ±ØÐëͨ¹ý¼ÓÈÈÆ÷¿ØÖƼÓÈÈζȲ»±ä¡£

¡¡¡¡(2) ÔÚÓ¡ÕÂÉÏÊ©¼Ó»úеѹÁ¦, ԼΪ500 ~1000KPa¡£ÔÚÓ¡Õº;ۺÏÎï¼ä¼Ó´óѹÁ¦¿ÉÌî³äÄ£¾ßÖеĿÕÇ»¡£

¡¡¡¡(3) ѹӡ¹ý³Ì½áÊøºó, Õû¸öµþ²ã±»ÀäÈ´µ½¾ÛºÏÎï²£Á§»¯Î¶ÈÒÔÏÂ, ÒÔʹͼ°¸¹Ì»¯, Ìṩ×ã¹»´óµÄ»úеǿ¶È, ±ãÓÚÍÑÄ£¡£È»ºóÓ÷´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´½«²ÐÓàµÄ¾ÛºÏÎï( PMMA) È¥µô, Ä£°åÉϵÄÄÉÃ×ͼ°¸ÍêÕûµØ×ªÒƵ½¹è»ùµ×±íÃæµÄ¾ÛºÏÎïÉÏ, ÔÙ½áºÏ¿ÌÊ´¼¼Êõ°ÑͼÐÎ×ªÒÆµ½¹è»ùµ×ÉÏ¡£

2¡¢×ÏÍâѹӡ¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡×ÏÍâѹӡ¹¤ÒÕÊǽ«µ¥ÌåÍ¿¸²µÄ³Äµ×ºÍ͸Ã÷Ó¡ÕÂ×°ÔØµ½¶Ô×¼»úÖÐ, ÔÚÕæ¿Õ»·¾³Ï±»¹Ì¶¨ÔÚ¸÷×ԵĿ¨ÅÌÉÏ¡£µ±³Äµ×ºÍÓ¡ÕµĹâѧ¶Ô×¼Íê³Éºó, ¿ªÊ¼½Ó´¥Ñ¹Ó¡¡£Í¸¹ýÓ¡ÕµÄ×ÏÍâÆØ¹â´ÙÊ¹Ñ¹Ó¡ÇøÓòµÄ¾ÛºÏÎï·¢Éú¾ÛºÏºÍ¹Ì»¯³ÉÐÍ¡£

¡¡¡¡ÓëÈÈѹӡ¼¼ÊõÏà±È, ×ÏÍâѹӡ¶Ô»·¾³ÒªÇó¸üµÍ, ½öÔÚÊÒκ͵ÍѹÁ¦Ï¾ͿɽøÐÐ,´Ó¶øÊ¹Óøü¼ÊõÉú²úÄÜ´ó´óËõ¶ÌÉú²úÖÜÆÚ, ͬʱ¼õСӡÕÂÄ¥Ëð¡£ÓÉÓÚ¹¤ÒÕ¹ý³ÌµÄÐèÒª, ÖÆ×÷×ÏÍâѹӡӡÕÂÒªÇóʹÓÃÄܱ»×ÏÍâÏß´©¹ýµÄ²ÄÁÏ¡£

¹â¿Ì¼¼Êõ

¡¡¡¡ÒÔÍù×ÏÍâѹӡ¹¤ÒÕÖÐÓ¡ÕÂÊÇÓÃPDMS ²ÄÁÏÍ¿¸²ÔÚʯӢ³Äµ×ÉÏÖÆ×÷¶ø³É¡£PDMS ÊÇÒ»ÖÖÑîʽģÊýºÜСµÄµ¯ÐÔÌå, ÓÃËüÖÆ×÷µÄÈíÓ¡ÕÂÄÜʵÏָ߷ֱæÂÊ¡£È»¶øÔÚËæºóµÄÊÔÑéÖз¢ÏÖÓÉÓÚPDMS ±¾ÉíµÄÎïÀíÈíÐÔ, ÔÚѹӡ¹ý³ÌÖÐÔÚÍâ½çµÍѹÁ¦ÏÂÒ²ºÜÈÝÒ×·¢ÉúÐαä, ½üÀ´, ·¨¹ú¹ú¼ÒÄÉÃ׽ṹʵÑéÊÒÌá³öʹÓÃÒ»ÖÖ3 ²ã½á¹¹µÄÈíÐÔÓ¡ÕÂ, ÒÔ¼õС×ÏÍâѹӡӡÕµÄÐαä¡£

¡¡¡¡¸ÃÓ¡ÕÂʹÓÃ2mm ºñµÄʯӢ³Äµ×, ÖмäÒ»²ãÊǺñ¶ÈΪ5mm µÄPDMS »º³å²ã, ¶¥²ãÊÇÓÉPMMA ¹¹³É¡£¾ßÌåÖÆ×÷Ó¡Õ²½ÖèÊÇÏȽ«PMMA ¾ùÔÈÍ¿¸²ÔÚ±»Àë×Ó¼¤»îµÄPDMS ²ÄÁÏÉÏ, ÔÚPMMA É϶ÆÉÏÒ»²ã30nmºñµÄÕౡĤ×÷ΪºóÐø¹¤ÒÕÖеĿÌÊ´ÑÚÄ£, ÔÙÔÚÕౡĤÉÏÍ¿¸²¶Ôµç×ÓÊøÁéÃô¶È¸ßµÄ¿¹Ê´¼Á, ËæºóÓõç×ÓÊø¹â¿Ì¼°·´Ó¦Àë×Ó¿ÌÊ´¾Í¿ÉÔÚÓ¡Õ¶¥²ãPMMA Éϵõ½¸ß×ݺá±ÈµÄͼ°¸, ×îºó½«²ÐÓàÕà±¡Ä¤ÒÆÈ¥¼´¿É¡£Ê¹Óø÷½·¨¿ÉÒÔÔÚ±£³Ö¸ß·Ö±æÂÊÇé¿öÏ´ó´óÌá¸ßÓ¡ÕµļáÓ²¶È, ¼õСӡÕÂѹӡÐαä¡£